通常所說的高純水，其定義不是很明確的，但一般都是指電阻率在10兆歐以上，即電解質(zhì)濃度在0.01-0.02ppm以下的純水。同時(shí)，還要考慮到水中含有的微粒、微生物、有機(jī)物、溶解 氣體等等。另外，高純水不僅僅應(yīng)用于電子工業(yè)，還廣泛應(yīng)用于制藥工業(yè)、化學(xué)試劑工業(yè)，以及火力、原子能發(fā)電站的鍋爐水處理等方面。

    當(dāng)然，在這些領(lǐng)域中應(yīng)用高純水，在水質(zhì)要求上是有一些不同的。例如在制藥工業(yè)以及在火力發(fā)電站的某些應(yīng)用中，對水中溶解氧的含量要求就很嚴(yán)格。所以所謂的高純水，就是按照各自的目的和用途的不同，對某些特定的不純物進(jìn)行高度提純的純水。其中，電子工業(yè)對高純水水質(zhì)的要求是最嚴(yán)格的。所以，在實(shí)際應(yīng)用中，純水設(shè)備產(chǎn)水或者超純水設(shè)備產(chǎn)水又稱為電子級超純水或18兆歐超純水。

   目前國家頒布的《電子級水國家標(biāo)準(zhǔn)》低于水質(zhì)的要求仍然是考慮電導(dǎo)率（電阻率）、微粒、微生物、有機(jī)物等幾個(gè)方面。另外，有些情況下對水中溶解的氧等氣體也有一定的要求。